檢測靈敏度：10-13～100Pa·m3/s［He］

檢測氣體：氫 / 氦

分析管：270。偏轉型(磁場偏轉磁通量密度0.17T)鍍氧化釔銥燈絲(內置兩支)附溫度補正自動調整靈敏度校正功能

真空系統：渦輪分子泵 (排氣速度 70 L/S)油式旋片真空泵 (排氣速度 30 L/min 50 Hz)皮拉尼真空計 (雙位置監視:測試口/MDP排氣口)

測試口：最大壓力 1000 Pa 連接口型式 NW25KF 氦氣排氣速度 3 L/S